產品分類
SiC高溫退火爐
所屬分類：
氧化/擴散/退火
半導體工藝設備
SiC高溫退火爐
概要：
專門用于碳化硅（SiC）氮化鎵（GaN）器件的離子注入后退火工藝，采用特殊的無金屬加熱設計使加工溫度提高到2000℃。 適用工藝：SiC和GaN晶圓的退火
關鍵詞：
SiC高溫退火爐
SiC高溫退火爐
產品概述/Product Introduction：
♦ 專門用于碳化硅（SiC）氮化鎵（GaN）器件的離子注入后退火工藝，采用特殊的無金屬加熱設計使加工溫度提高到2000℃。
Specially used for ion implantation annealing process of silicon carbide (SiC) and gallium nitride (GaN) devices, with a special non-metallic heating design to increase the processing temperature to 2000 ℃.
♦ 適用工藝：SiC和GaN晶圓的退火
Applicable process: Annealing of SiC and GaN wafers
產品特點/Product Characteristics：
♦ 采用立式結構、工藝控制好、溫度分布均勻、氣流穩定
The vertical structure is adopted, the process is well controlled, the temperature distribution is uniform, and the airflow is stable
♦ Robot自動傳送
Robot Auto Transfer
♦ 多點控溫，溫度均勻
Multi-point temperature control, uniform temperature
♦ 具有多種報警功能及安全保護功能
Has various alarm functions and safety protection functions
技術指標/Technical Indicators：
♦ 晶片尺寸：6-8英寸 Wafer size: 6-8 inches
♦ 制程溫度范圍: 800-2000 °C Process temperature range: 800-2000°C
♦ 批次片數: 50-75片 Batch capacity: 50-75 pcs
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SiC高溫氧化爐
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